二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9087044 待售

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ID: 9087044
晶圆大小: 12"
优质的: 2003
Dual block coater / developer system, 12" Track configuration 1: Coat cup: 1 BARC cup: 1 Top Coat cup: 1 Developer cup: 2 ADH: 1 Track configuration 2: Resist Reduction: RRC Dev Nozzle: LD Resist pump: RDS 4ml Oven Configuration: PEB: PHP x3 BCT: PHP x2 COT: PHP x2 Post bake: CHP x3 Track chemicals: Resist supply: Gallon bottle Thinner: OK73 Currently installed 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是TEL Limited在处理半导体器件时所使用的光刻式清洁设备。光致抗蚀剂清洗系统是为有效去除光致抗蚀剂残留物和IC芯片表面的硅酮污染而设计的。该单元由连接到超音速单元的电阻轨道、电阻电镀罐、电子束辐照室和红外CCD摄像机组成,均由控制面板操作。具有超声波单元的电阻轨迹用于利用高频声波从IC芯片表面去除光阻残留物。电阻电镀罐用于将导电层沉积在芯片上,允许电子束辐照室用来用电子束照射芯片,从而确保光致抗蚀剂残留物的完全去除。红外CCD照相机用于检测任何残留的光致抗蚀剂残留物,以确保清洁过程成功。使用TEL Clean Track ACT 12可确保对电子设备中使用的IC芯片进行高效、经济高效的清洗。机器的使用也减轻了任何因光刻胶残留物未被完全清除而引起的问题,从而导致设备故障。此外,该工具的高质量电子束辐照室确保了IC芯片的质量不受影响。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一种可靠且具成本效益的光刻胶残渣清除和硅胶污染清洗方法,确保电子装置的可靠操作。它易于使用和高效,确保IC芯片以最高质量的清洗出来。它是一种可靠的资产,有助于确保IC芯片正常运行,减少产品故障并保护客户和制造商。
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