二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106025 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，用于蚀刻DUV半导体基板表面的图样。光致抗蚀剂是光刻中使用的光敏化学物质，用于将图样从遮罩或标线转移到基板上。该系统有助于精确定义将被蚀刻到基板上的图桉。TEL Clean Track ACT 12由三个模块组成：电晕点火器、分辨率增强技术（RET）和步骤和重复单元（SRU）。电晕点火器是过程中的第一步。Igniter将一种称为引发剂的特殊化学物质引入基材表面，激活基材上的光致抗蚀剂，以形成保护层。这种保护性涂层能够在紫外线照射后对光刻胶进行精确的图桉。然后,RET模块将激活的光刻胶基板提升到下一级。这个模块使用极其先进的成像技术，以极高的分辨率在光刻胶层中创建详细而精确的图桉。它结合了接触级成像、收缩和减少点等多项技术来实现这一目标。SRU是TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12的第三个也是最后一个模组。此模块采用RET模块定义的光刻胶图样,并将其传输到掩码或标线。然后对步进器进行多次曝光，以便将图样转移到基板上。步进器是一种以精确的间隔以精确的模式移动标线以使每个位置正确暴露的设备。CleanTrackACT 12是一种非常可靠和精确的光敏装置.它结合了电晕点火器、RET模块和SRU，可以精确、精细地定义要蚀刻到基板上的图桉，分辨率和精度都很高。这台机器被用于许多行业，被认为是最先进的光刻胶系统之一。