二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106026 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款光抗蚀剂设备，设计用于产生最高水平的设备清洁度和烘焙产品图像。该系统允许用户处理多种基材，包括半导体晶圆、柔性印刷电路、胶带载流子和光学薄膜，以及各种蚀刻回等级，如照片、聚酰亚胺和电子束。该单位的ACT 12头是一步预处理头，表现为自动除粒机。它配备了多种技术，包括超声波振动、热爆裂和喷射清洗，可用于处理直基板和角度基板。该工具还可以通过其集成的冷却和加热技术来跟踪和控制工艺温度。除了自动去除颗粒外，资产还提供多向喷雾，均匀地覆盖整个基板表面，均匀地应用光致抗蚀剂。这样可以确保基板上均匀的厚度和可重复的图样。该型号配备了一个纺丝-不锈钢卡带，确保长期使用和加快高端面罩模式。TEL Clean Track ACT 12旨在提供高生产率和低拥有成本。使用24行配置可实现高达每小时150个晶圆的高吞吐量。该设备还采用高精度的传感和控制系统进行设计，确保结构的精确放置和统一。它还配备了数码相机系统，可以在处理开始前检查每个基板。而且，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12单元拥有一个整合式的轨距/卸载机与一个自动条码分配工具。它还有一个紧凑的设计，适合洁净室环境。该资产带有一个集中控制机构,可通过易于使用的图形用户界面来监督和调整流程条件。它还配备了远程控制和分析的自我诊断和分析模型。