二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9138481 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 12是一种革命性的光阻设备，设计用于处理需要高精度的集成电路和应用。TEL Clean Track ACT 12系统由一个化学预处理模块、一个去除固体颗粒的大功率清洗单元和一个为最大限度提高图像清晰度而开发的专利感光膜组成。化学预处理模块旨在中和底物上可能存在的任何污染残留物，并为光致抗蚀剂的沉积创造均匀的基础。高功率洗衣机的设计是为了从基板表面精确去除任何固体颗粒，以及任何可能被薄膜无意中吸收的颗粒。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12所使用的专利感光膜是与日本研究所RIKEN共同开发的独特沉积。薄膜最大限度地提高了图像的分辨率，并允许在蚀刻和光刻过程中更高的精度。Clean Track ACT 12具有多项功能,使其能够以最高精度执行。工具中使用的清洁技术消除了可能导致图像清晰度下降的颗粒和颗粒。先进的光致抗蚀剂资产的设计使电路设计者能够快速地从概念转变为实现，对原始设计进行最小的改动。该模型利用高功率加热元件快速、均匀地固化光刻胶，允许更快、更精确的应用。连续蚀刻0.18微米及以下特征尺寸的能力是TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12提供的关键优势。这种高保真设备为提高电路密度提供了改进的晶体管和电阻密度。该系统产生的小型但高度精确的特性特别适合需要接近原子级精度的应用。此外，TEL Clean Track ACT 12兼容了大量的蚀刻和光刻技术。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一种特殊的光阻装置，能够以最高精度制造复杂电路。先进的清洁技术、高精度的光刻胶薄膜和强大的加热器的独特结合，使原型制作迅速，上市时间更快。CleanTrackACT 12是一种非常先进的光电抗蚀器,旨在满足制造先进集成电路对质量和精度的不断增长的需求。