二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9154831 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，为用户提供在基板上开发光致抗蚀剂的高效快速工艺。该系统允许用户在晶圆表面上创建高分辨率图像，从而减少所需时间，提高产品质量。该装置的工作原理是通过遮罩将光暴露在基板上，然后用真空将其稳定。这使得基板能够开发出可用于制造的负片或正片图像。光致抗蚀剂保持在表面，真空使层稳定。本机最重要的特点是层和基板之间不需要人工接触，因为真空做稳定光刻胶几何形状和压力的工作。光致抗蚀剂在光照完成后从表面除去。然后通过在装有液体光刻胶的腔室内旋转底物来重新开发。表面的光致抗蚀剂被基板的自旋进一步硬化，液体再从表面排出。这一过程提高了光刻胶的性能，因为它形成了一个薄而均匀的层。TEL Clean Track ACT 12为用户提供了生产高分辨率、高精度感光元件的准确性和精确度。该工具还提供了优于基板清洁，这要归功于它的高真空水平。当在掩模和基板之间移动基板时，该资产还提供了卓越的跟踪精度，从而允许精确和精确的曝光。总体而言，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12为用户提供了一种生产感光元件的可靠和高效的方法。该模型的工作原理是将光暴露在基板上，用真空稳定层，除去光致抗蚀剂，然后在装有液体光致抗蚀剂的腔室内使用自旋将其重新显影。该设备提供卓越的清洁度、准确性和精确度，为用户提供感光元件的最高品质。