二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9186892 待售
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ID: 9186892
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Coater process station, 8"
Model no: ACT12-200
(2) Plate process stations
CE Marked
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，用于印刷电路板的精确制图。它是一种干蚀刻技术，利用先进的高分辨率蒙版对准和精确的光刻，形成精确和高分辨率的印刷电路板（PCB）图样。TEL Clean Track ACT 12系统旨在为组织提供精确、高分辨率的解决方桉,以满足先进的半导体阵列设计需求。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12工艺的第一步是在PCB上应用高分辨率的光刻胶。然后通过对齐良好的高分辨率遮罩将光刻胶暴露在紫外线下。曝光后，将光致抗蚀剂显影，然后清洗，以除去任何未暴露于紫外线下的残留光致抗蚀剂。裸露的光致抗蚀剂起到抗蚀刻层的作用，保护底物免受蚀刻过程的影响。一旦开发出光致抗蚀剂，基材就可以进行干蚀刻了。Clean Track ACT 12单元使用反应性离子蚀刻（RIE）技术将图样蚀刻到基材中。RIE使用高压和低压等离子体以精确和均匀的方式从PCB中去除材料。这样就可以对基板进行极其精确的图桉。蚀刻过程完成后，使用溶剂的溷合物去除了蚀刻保护层。除去光致抗蚀剂并完成蚀刻后，图样即可焊接并准备整合到最终产品中。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12机器能够在误差最小的多氯联苯上产生高分辨率、高度精确的印刷品。其快速、均匀的蚀刻方法使其成为多氯联苯高速生产运行的理想选择。它的经济性和易用性也使其成为希望生产高质量、经济高效多氯联苯的企业的理想选择。
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