二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9190227 待售
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ID: 9190227
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
(2) Coaters / (4) Developers system, 8"
In-line
Right to left
Loading configuration: 3 Foup type
Main controller: 2nd Controller
Main frame with system controller
CSB
PRB1
PRB2
IFB
Power box
T&H Controller
Chemical box
Thermo controller
(2) Mass flow controllers
Carrier station: 8" Foup type
(3) Cassettes / (25) Slots
Coater unit (2-1, 2-2 Module):
(4) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RRC Pump
PR Suck-back valve: (8) Air operation suck-back valves
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Programmable side rinse
(4) PR Nozzles
(8) Bottles
Thinner supply:
CCSS Supply
Local canister tank function
Photo resist temperature control system
Drain: Direct drain
Developer unit (3-1, 3-2, 3-3, 3-4):
(2) H Nozzles for each unit
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse on each unit
Developer temperature control system
I/F Wafer stage type: NIKON (S204)
Adhesion unit:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor in system
HMDS Supply: Local bottle
(8) Low temperature hot plates (LHP)
WEE Unit (Wafer edge exposure)
Type: DUV (UV254)
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling hot plates (CHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
SHU: (2) Shuttles
Chemical cabinet 1:
Solvent
Developer
HMDS Chemical cabinet
Temperature & humidity controller: Shinwa series (ESA-8)
Temperature control unit(TCU): TEL
AC Power box:
AC200 / 220V
Full-load current: 300A
Power: AC 208V, 3 Phase, 300A (Maximum)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是市面上最新、最先进的光刻胶设备。它是为在洁净室环境中超低颗粒性能而设计的。该系统采用独特的技术组合,包括确保颗粒清洁的专有清洁轨道自动清洁（CTAC）工艺和先进的自上而下扫描工具,以便于维护。清洁轨道自动清洁（CTAC）过程利用两个顺序阶段来确保最高的无粒子环境。首先，使用两个独立的活化刷子模块将粒子从任何表面轮廓中移出。这些刷毛精确地根据零件或设备的形状和尺寸量身定制，确保有效清除所有污染物。其次，用高气流单元从表面提取脱落的颗粒。高气流还对表面施加防静电，进一步改善无颗粒环境。机器还利用专有的扫描技术来检测任何剩余的粒子。扫描工具利用16通道传感器阵列检测小到1微米的颗粒。传感器测量和比较包括大小、形状和密度在内的粒子特性，从而能够准确识别粒子计数。通过这一扫描过程，该工具能够检测和去除低于行业标准的颗粒水平。TEL Clean Track ACT 12资产还利用先进的温度、湿度和臭氧监测技术，以确保清洁室环境得到持续维护。温度和湿度传感器监视环境,以便根据需要调整模型。此外，臭氧传感器用于检测任何产生臭氧的粒子的存在，并相应调整设备的臭氧产量。该系统为用户提供了完整的控制,允许对清洁过程进行精确监控。此外，灰尘和防静电系统都提供先进的统计分析工具，使用户能够监测清洁阈值并确保最佳无颗粒性能。总体而言，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款高度先进的光致抗蚀剂装置，使用户能够在洁净室环境中达到最高水平的洁净度。机器利用先进技术的组合，以允许恒定的无粒子性能，同时提供对清洁过程的完全控制。
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