二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9197300 待售
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ID: 9197300
优质的: 2006
Single block system, 12"
P/N: Cassette block(CSB)
Model no: ACT12-300
TTC Series
Front opening unified pod
Non copper
Installed components:
(2) YASKAWA Servopack P/N: CACR-02-TE2K
(2) YASKAWA Servopack P/N: SGDA-01AP
(2) PANASONIC Servo P/N: DV83050HA503
PANASONIC PLC P/N: MSD261Y22
NSK Servo driver P/N: ESA-J1003AF9-20
ASYST P/N: Advantag gateway
TEL P/N: TIF-40S1, Model 877
CE Marked
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12设备是为前缘光刻工艺设计的开创性光刻系统。Clean Track ACT是一个综合性的集成单元,为最极端的平版印刷要求提供关键的清洁过程和解决方桉。TEL Clean Track ACT 12机器利用确定性传输,为光致抗蚀剂的活动层创造清洁环境。这保证了光刻胶均匀地沉积在晶片上，这对于光刻工艺至关重要。其先进的气闸技术为防止污染和后处理效果提供了至关重要的保护。该工具由多种清洁和软烘烤工艺组成的集成序列确保了光刻的最佳条件。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12还有一个瓶盖晶圆转移资产，可以最大限度地减少颗粒，减少接触污染，并消除晶圆清洗。此模型的高端自动化旨在实现高效可靠的性能,确保过程解决方桉的不间断流动,从而提高吞吐量。Clean Track ACT 12提供了一个用于高级预处理的多功能平台。它旨在支持多重光刻工艺，如EUV和ArF光刻。集成平台既提供预烤功能,又提供一系列晶圆尺寸和配置的清洁功能。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一个通用的光刻平台。它在基板上提供出色的均匀性,以确保精确
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