二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259909 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，设计用于需要精确抗蚀剂涂层、曝光和在半导体晶片等基板上显影的应用。该系统通过内置定时控制器和严密的温度控制，有效地控制涂层、曝光和开发操作。该装置有两个机器人手臂，能够在短时间内进行精确的抗涂层、显影和清洁。这台机器还减少了底物的化学氧化，从而提高了薄膜的性能。光致抗蚀剂工具由一个装有喷雾喷嘴的抗蚀室组成，可在晶片上精确施加光致抗蚀剂。喷嘴每秒可在晶片上施加多达7滴液滴。该资产还带有晶圆传输单元，能够安全、准确地处理晶圆。该模型还具有一个曝光室。这个腔室使用一个UV短波长的AMLS（调幅UV激光设备）来曝光光刻胶。激光束用于将图样直接写入晶片表面。一旦曝光完成，光致抗蚀剂就会按照图样永久改变。该系统还设有自动化化学处理装置。这台机器包括一个自动刷子工具，在加工过程中对晶片进行化学清洗。资产中还配备了可用于进行浸入式湿蚀刻、酸性蚀刻、光化学蚀刻等的化学加工室。这样可以精确控制用于加工晶片的化学剂。该模型还配备了监控设备，使操作员能够实时监控腔室温度和操作条件，同时控制暴露、清洁和化学处理等过程。系统还提供了用户友好的图形用户界面（GUI）以方便操作。该装置具有极好的可靠性，能够在广泛的基板上实现精确的涂层和图桉。该机在消费电子、医疗技术、汽车半导体制造等行业应用广泛。