二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9265670 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12是一款为半导体工业而建造的光刻胶设备。它旨在为光刻应用提供更清洁的环境。该系统采用独特的多级清洗设计，提供最大的清洁度。该装置使用一系列喷嘴和泵来清洁基板表面的光致抗蚀剂。为进行清洁，喷嘴采用精密的狭缝喷嘴设计，能够产生最佳的清洁流量。狭缝喷嘴产生湍流气流，将大颗粒分解成小块，便于清除。此外，喷嘴还可以创建一个抽吸通道阵列，以便从表面高效提取颗粒。通过增加注入高压气体的额外喷嘴，进一步加强了清洁操作，这些喷嘴用于分解粘附的颗粒和封装的气泡。该装置使用的泵是隔膜设计的，在水箱内部产生真空。这种真空允许用户为不同的应用自定义清洗过程。泵有三种尺寸，从小到大不等，可容纳压力和体积的不同组合。每台泵还包括一台高效的压力控制机，可确保压力始终在最佳范围内。此外，TEL Clean Track ACT 12配备了净水工具，通过清除自来水中的化学物质、污垢和其他杂质确保水箱清洁。这不仅减少了光刻胶的污染，而且提高了清洁操作的性能。TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12还利用目视检查资产监控基板表面的质量。该型号由放置在设备内部的三个摄像头组成,这些摄像头在清洗过程之前、期间和之后捕捉基板的图像。这有助于用户确保光刻胶已被有效去除，表面仍然光滑且无缺陷。总体而言，Clean Track ACT 12是一种高度先进的光刻设备，可提供更好的清洁性能和对光刻工艺的更大控制。该系统高效的清洁设计，加上强大的净水和目视检查系统，有助于确保清洁室的成功运行。