二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266471 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是为优越的半导体器件加工制造而设计的光刻设备。它是一种高端设备,以完全自动化、经济高效和可靠的封装提供先进的光阻技术和工艺。该系统由主要组件组成，包括激光扫描仪单元和集成激光光学器件以及可回收真空卡盘表。激光扫描仪允许精确的光束对准和可重复性，以掩蔽视场内的数据，而真空卡盘则允许可靠的基板涂层，辐射膨胀控制，并消除粒子色散等潜在缺陷。TEL Clean Track ACT 12配备了多项高级功能,可提高性能、降低成本和简化维护,包括快速热暴露和快速热开发（RTED）单元。这台机器通过消除非必要的接触元件，使基板接触与材料接触相协调，大大减少了材料消耗和加工时间。该工具还配备了一种高功率的紫外线激光器，能够快速曝光更大尺寸和更高密度的图桉。此外,它还支持用于精确定位的高精度基板对准资产、用于改进图样均匀性的边缘曝光多反射模型,以及用于防止工艺变化的冲洗和喷雾盒式清洁器。此外，TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12配备了全自动化设备，能够处理多种晶圆尺寸，以及脚跟效应系统的减径基板场。利用其配方，该单元通过补偿粒子色散和激光摇摆提供了高水平的过程均匀性。总体而言，Clean Track ACT 12是一款先进的光刻机，旨在满足最苛刻的半导体器件应用的需求。其特点和可靠性使其适合以经济高效可靠的方式最大化生产吞吐量。此外，该工具提供了高度的流程统一性和性能，其完全自动化的资产提供了一个简化和高效的工作软件。