二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266472 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款最先进的光敏设备。该系统用于将感光膜沉积到半导体表面上。这样可以精确地控制和操纵薄膜的厚度和表面特性。TEL Clean Track ACT 12单元利用精确的线性级以及完全集成的视觉/对齐机器。这使得薄膜的精确运动和精确的位置得以沉积。视觉/对齐工具还提供反馈，以保持沉积过程的精确度。膜通过一系列的旋转和喷头沉积。当喷嘴将光致抗蚀剂液体施加到基板表面时，旋转头会高速旋转基板。液体施用后，使用真空卡盘固定基板，使图像对准过程开始。舞台可以在X轴或Y轴中精确移动基板。此时，感光膜与底物对齐，图像可以精确地再现到胶片上。在基板上创建的图像随后被闪光灯干燥，然后暴露在紫外线下发展。这种光刻工艺允许将图桉设计精确转移到基板上。该资产还允许光刻胶层的厚度变化，从而允许精确和精确的电路设计。一旦光致抗蚀剂被开发和图桉化，基板就被置于蚀刻过程中，利用各种化学物质和酸去除了光致抗蚀剂，在基板表面形成所需的电路。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12模型提供可靠精确的光刻和蚀刻工艺，非常适合大体积的应用工艺。设备使用方便，维护简单。此外,该系统还具有FOUP和吊舱跟踪功能,非常适合当前晶圆制造行业.