二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9269256 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是设计用于半导体製造的光刻胶系统。它提供了一致的，高质量的结果，具有卓越的清洁和出色的处理基材。该系统是一个高度通用的平台，可用于各种沉积应用，包括静电沉积、化学机械平面化（CMP）和其他专业应用。TEL Clean Track ACT 12由三个主要组件组成：大型机、主处理器和相关软件包。大型机装有两轴转动台,在处理过程中需要该转动台来固定目标基板。主处理器包含运行光刻过程中所需软件所需的所有组件。这包括控制应用程序速度和准确性的计算，以及创建所需模式所需的实际软件。此外，处理器还包含操作基于微处理器的触摸屏所需的所有组件，允许操作员精确控制过程参数。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12包含各种工具来最佳地沉积在基质上的光刻胶。其中包括用于应用光刻胶的遮罩板，以及用于将光敏材料从遮罩板转移到基板的辅助工具。该系统还包括一个基于激光的加热工具，用于在基板上制造均匀的涂层，以及一个真空附件，用于在工艺完成后进行清理。底物的清洗和加工是通过一台专门的机器完成的，该机器采用化学清洁剂、磨料清洁剂和蚀刻溶液的组合来去除底物中的污染物。污染消除后，施用化学底漆，然后在施用光致抗蚀剂前让其干燥。然后利用一系列指定宽度和频率的矩形脉冲来完成光刻胶的沉积。如有必要，可采用额外的处理方法来增强光致抗蚀剂对基材的附着力。CleanTrackACT 12提供一致、高质量的结果,具有卓越的清洁度和出色的基板处理能力。是开发各种沉积应用光刻胶的理想平台，专门从事静电沉积、化学机械平面化等专业应用。