二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9272286 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一款光刻设备，设计为允许高精度高品质印刷精密电路。这种健壮的系统能够以最小的失真和高精度打印极其复杂的线条结构。它的轨道宽度分辨率为350纳米，层对层可重复性公差小于3纳米。光致抗蚀剂单元由具有自旋抗蚀剂和光刻成像的两步工艺组成。首先，将自旋抗蚀剂应用于基材或晶片。这种液体抗蚀剂被分配到晶片上，然后高速旋转，以便在整个基板上铺展均匀的一层。抗蚀剂必须以极高的精确度和均匀度进行涂抹，才能达到高品质的印刷品。一旦应用了自旋抗蚀剂，晶片就会暴露在高功率的紫外线光源下。这是光刻成像的地方。该装置能够精确控制光能和曝光量，以便从抗蚀层产生"负"图像。然后使用光刻图像打印所需的电路设计。在成像过程之后，使用一系列显影剂、冲洗和烤箱步骤将设计"烘烤"到抗蚀层中。机器可以加工直径达8英寸的晶片，可以设置为手动或自动操作。清洁轨道工具的速度和精度使其非常适合复杂电路的高精度打印。该资产还允许进行后处理以提高成像分辨率。这包括多重抗蚀层、选择性掺杂、激光切割等先进技术。TEL Clean Track ACT 12是一种易于使用但功能强大的光电抗蚀剂模型,能够以最小的偏差产生复杂的电路设计。