二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9284887 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一种光刻设备，用于生产集成电路的蚀刻和光刻工艺。该系统使用内置的温度控制烤箱和始终保持在低压状态的腔室。该设计有一个自动晶圆传输单元，用于在工厂环境中在工艺之间传输晶圆。机器还包含一个集成的高精度激光对准工具，用于确定晶圆的确切位置。TEL Clean Track ACT 12具有一整套功能和功能,可用于使用光刻胶对晶片进行高级预处理。它配备了先进的用于光刻胶应用的自旋淋浴液体，可以设定为以变速自旋。资产还有一个综合曝光模型，利用无汞准分子激光器将紫外线能量精确应用于晶圆的定义区域。如果需要，金属卤化物灯也可用于曝光光刻胶。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12中的精密控制干式和湿式蚀刻功能具有用于干式和湿式蚀刻工艺的等离子体灰化/剥离组合站。软件控制设备具有调节蚀刻速率的能力，可以更好地控制微电子生产中的蚀刻特性。应用后的化学材料和蚀刻后处理通过嵌入式计算机控制系统进行监测和管理。Clean Track ACT 12单元具有全面的颗粒物和化学废物处理能力。该机设计用于将粒子排放控制在0.1微米以下，并通过了无危险物质的使用认证。这意味着该工具配备了先进的过滤系统来控制颗粒的发射，允许用户在清洁的环境中运行。综上所述，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12光致抗蚀剂资产是一种紧凑、高性能的生产模式，提供精确的预处理和蚀刻能力、先进的颗粒和化学废弃物管理、安全运行的集成监控设备等创新功能。