二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9395682 待售
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ID: 9395682
晶圆大小: 12"
System, 12"
Single block
FOUP Open cassette
No nozzles
No Stepper / Scanner interface
No hot / chill / transfer plates and types
No chemical cabinet
No T&H (Temperature and Humidity)
No power distribution box and AC transformer
No IDI and RRC pumps
No DEV and EBR systems
No HDD.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12光刻设备是一款高精度、自动化的光刻机，配备了高级功能，旨在减少污染和提高性能。该系统能够处理各种基板，并以最小的失真和精度产生高精度的结构。TEL Clean Track ACT 12采用了最先进的真空工艺,旨在在加工前清除基板上的气泡、灰尘和其他污染物。通过使用专门的高温高压清洗工艺进一步减少基板污染。该装置还包括一台自动光学对准机，通过精确对准光刻工艺的每个步骤的基板和遮罩图样来提高精度。该工具利用高性能的12区曝光灯将基板精确地曝光，每个区域都由计算机控制的资产独立控制。可以精确控制总曝光时间，以确保在不出现任何过量曝光的情况下进行精确的阵列。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 12利用专门的遮罩台组件，旨在保持高水平的振动控制和减少热失真。此外,该模型还配备了多个控制器和反馈传感器,用于监视台面的压力、温度和振动,以使这些电平保持在规格范围内。该设备还包括确保精确化学涂层的先进化学分配系统，以及回收光刻胶再利用的专门化学回收装置。在光刻过程之后，机器配备了一个特殊的后处理单元，可以精确测量基板的轮廓，以验证精度和检测任何缺陷。后处理单元还用于协助清洁过程，清除化学残留物和任何残留污染物。综上所述，Clean Track ACT 12光刻刀具是一种高度先进的自动化光刻机器，旨在以最小的失真和精度生产高精度结构。该资产利用若干先进的功能，以尽量减少污染，提高准确性和性能。
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