二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9412474 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 12是一种先进的光刻设备，设计用于对细腻敏感的电子材料进行精确、分步的处理。它使用获得专利的面朝下精密跟踪技术来处理具有多种精密配方的晶片。该系统由一个主轨道组成，一次最多可容纳12个晶圆，最多可容纳2个晶圆大小的分配阀，2个清洗棒，2个注射器泵阀，一个视觉盒式装载机和一个射频（RF）模块。视觉盒式装载机使设备能够自动识别每个晶片并将其转移到轨道中的适当位置。它还能够根据晶片的大小和方向对齐晶片。TEL Clean Track ACT 12利用专门的光刻胶应用机在成品晶片上达到清洁一致的表面光洁度。采用浸渍和自旋涂层两种主要方法，增加了多种特殊用途。精密轨道允许在清洁和无碎片的环境中精确和可重复地应用光刻胶，从而消除了成品晶片的潜在污染。该机还具有两个独立的清洁条，一个用于光刻应用侧，一个用于加工晶片的顶部和底部表面。可以使用不同的清洁剂对任何不需要的颗粒或残留物进行彻底彻底的清除。还可以进行最后的冲洗，以帮助确保所有的光致抗蚀剂都被完全去除并且晶片没有任何污染物。该工具还配备了专用的射频模块，使操作员能够调整光刻胶的曝光设置，以确保光刻胶的精确应用。此功能允许对曝光设置进行微调,以满足每个晶片的确切要求,从而确保高精度和可重复的结果。该资产还设计用于快速和方便的维护，允许快速和毫不费力地清洗和更换晶片支架，光刻阀和其他部件。这确保了TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12的最佳性能,减少了停机时间并提高了生产率。