二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7 #293656056 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 7是一种光刻设备，由专门为高级记忆体和高密度装置製造而设计的模组化平台组成。该系统具有最高级别的自动化和过程控制功能,可用于多级光刻的精确和快速并行阵列。TEL Clean Track ACT 7是一种高度专业化的基于投影-光学点处理的设备，是TEL开发的一种创新的抗暴露技术。该技术采用单头液晶（LC）投影单元，将微调的亚微米图样数据投射到曝光的抗蚀膜上小至1微米的照明区域。这样就可以实现极其精确的图像创建和清洁的抗性阵列。ACT 7机器还具有多种自动化功能,包括精密光掩模更换器和自动狭缝扫描抑制和曝光头,使其能够通过复杂的狭缝扫描保持高度精确的图像创建,而不会影响图像质量。该工具还具有将几种抗蚀剂材料集成到同一晶片上的能力，使其适合多种工艺。此外,ACT 7还支持广泛的过程,如暴露前烘烤（PEB）、暴露后烘烤（PEB）和发育后烘烤（PDB）。其先进的光刻软件还支持多种图像形成模式，包括自动光学接近校正（OPC）和先进的前后图样处理。综上所述，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 7是一款具有单头液晶投影模型、自动狭缝扫描抑制和曝光头、精密光掩模更换器和高度可靠的光刻软件的先进光刻资产，能够为高级内存和高密度设备制造提供精确、干净的图样。适用于广泛的过程，如PEB和PDB，支持多种图像形成模式。