二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138478 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8/ACT 12是一种光致抗蚀剂设备，用于创建具有亚微米元件的高分辨率图样，用于半导体和其他微电子元件等各种应用。该系统有两种配置-ACT 8和ACT 12-并且能够分别处理多达8英寸和12英寸的晶圆。该装置采用先进的工艺控制算法，以确保准确、可重复的蚀刻结果，非常适合处理底层图样属性在亚微米级高度可控的光致抗蚀层。该机采用微处理器控制的工艺和曝光工具，实现了亚微米特性的高精度制图。TEL Clean Track ACT 8/ACT 12提供了一系列光刻和曝光选项,例如光学接近校正（OPC）、化学机械抛光（CMP）和紫外线（UV）和电子束（EB）抗蚀剂的激光蚀刻。该资产还为基板预处理、热管理和晶片处理提供了一些先进的功能,例如用于应力/缺陷控制、边缘侵蚀、稳定R处理和自动检查的内置子系统。该模型还设计用于环境保护，其自动化过程可持续监测气体使用情况和压力水平，保持室内空气供应，以防止交叉污染和气味形成。此外，设备还具有内置的安全功能，以确保达到最高保护标准。总体而言，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8/ACT 12为各种先进的光刻应用提供了有效的光刻系统。其处理8英寸和12英寸晶圆的能力,加上灵活的曝光和光刻选项,以及先进的工艺控制功能,使其成为使用亚微米元件创建高分辨率图样的理想解决方桉。