二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #162688 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是TEL所提供的光刻胶设备。它使用专有的干磨砂技术，以高效率和准确的方式清洁和去除开发出的光刻胶残留物。该系统采用高速旋转刷子、真空抽取和超声波振动的独特组合，从基板上提升有机残留物。该单元据说能够以高均匀性、可重复性和准确性的方式，在一次通行证中完全清除有机残留物。该机由清洁轨道洗涤器和清洁轨道真空工具两个主要部件组成。Clean Track Scrubber是一个圆柱形的洗涤器单元，中央有刷头。刷头由电动机驱动逆时针旋转，擦洗晶片表面，去除有机残留颗粒。同时对晶片表面施加超声波振动，进一步增强洗涤工艺，确保有机残留物均匀清除。清洁轨道真空资产旨在提取洗涤器产生的碎片颗粒。它由真空室、排气扇和电磁阀组成。当旋转刷子旋转时,颗粒从晶片表面被去除.然后真空室通过排气扇和电磁阀捕获并将其从模型中移出。TEL Clean Track ACT 8提供符合汽车、医疗和半导体行业最严格要求的专业级清洁性能。设备具有可调的刷速和增强的均匀性、重复性和准确性。它还提供了低停机时间,因为该过程可以快速高效地执行。此外，该系统还提供高水平的安全和环境性能，因为它旨在尽量减少对危险化学品的需求，同时遵守严格的环境法规。