二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #193036 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是由TEL Limited（TOKYO ELECTRON）公司开发製造的光敏设备。它是市场上领先的光刻胶系统之一。该系统的设计目的是提供清洁、一致的暴露光致抗蚀剂，而不会产生任何有害残留物。TEL Clean Track ACT 8单元由喷雾送送机、喷水辅助喷雾送送工具、头部单元、头部级和控制器组成。喷雾输送资产用于雾化和向玻璃表面输送光致抗蚀剂。雾化的液滴然后均匀地分布在基质上。喷水辅助喷雾输送模型增加了光致抗蚀剂颗粒在基板上形成均匀薄膜的分散力。头部单元用于精确定位用于曝光的基板，而头部级则用于在曝光辐射下精确定位抗蚀剂。控制器用于控制曝光过程的物理参数，如强度、持续时间和曝光深度。TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8配备了一系列先进的安全特性，如化学检测设备、防接触系统、防溅板等。化学检测单元监控机器中使用的光刻胶浓度，防止危险的溢出或排放。防接触工具用于防止基板与曝光源接触，最大限度地降低损坏风险。防溅罩降低了光刻胶的喷雾发射速率，确保了清洁均匀的曝光。Clean Track ACT 8设计用于光刻和制图过程。该资产用于将图样化的层精确地转移到基板上，提供最高质量的光刻胶薄膜。该型号适用于半导体晶片、集成电路、平板显示器、模具等元件的曝光。该设备还与一系列光刻胶兼容，使用户能够根据需要选择最佳的光刻胶。TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一个可靠且易用的系统，提供高精度的曝光能力和先进的安全特性。这种光刻装置非常适合一系列工业应用，从基本光刻到复杂的图样。