二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293592456 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是为先进的纳米技术光刻工艺而设计的先进光刻设备。系统配备了两台扫描仪，一台在紫外线中运行，另一台在红外线中运行。该装置的设计能够提供卓越的准确性和可重复性，以及卓越的均匀性，即使在长时间的操作中也是如此。TEL Clean Track ACT 8是一种独一无二的机器，利用先进的自动聚焦机构、专有的绝缘技术和光刻胶对比度的主动调整，以确保合成图样的高维精度。自动对焦功能能够快速、准确和可重复地优化对焦位置和深度,从而确保一致的高精度模式传输。专利绝缘机构在操作过程中显着减少了光敏振动或其他失真源。最后,主动对比度调整功能允许刀具根据所需的图样分辨率调整对比度。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是由照明阶段、光刻阶段、曝光后烘烤（PEB）阶段和涂层/显影阶段组成的四轨资产。光学元件在每一级的密封环境中被隔离，以尽量减少污染物。特殊的诱捕装置用于避免产生可能导致模式失真的粒子。照明和光刻阶段采用了多种高精度光学器件，包括先进的光学滞后技术，以保持由热变化引起的失真非常低。曝光后烘烤阶段配备石英卤素灯，提供均匀加热。PEB工艺的温度可以精确调整，以控制模式传递的质量。曝光后烘烤阶段最多可容纳八个盒式磁带，有助于减少曝光后烘烤过程的时间。涂层/显影阶段装有高精度的机械臂，用于晶片的精确运动。等离子体产生装置用于图样的精密蚀刻以及晶圆的清洗。然后将晶片暴露于精确的高分辨率成像光学器件中，以实现优越的图样传输。Clean Track ACT 8是一个完整、高精度的光刻模型，旨在最大限度地提高效率并确保精确的图样传递。其先进的功能使设备坚固、可靠、准确且可重复,即使在长时间的运行中也是如此。