二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293633988 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是设计用于在半导体晶片上产生高度精确的电路模式的光阻设备。系统利用光照来有选择地涂抹和去除晶片表面的光刻胶。通过专门和复杂的曝光和开发过程，该装置能够产生最小线宽为8纳米的精确、高分辨率模式。TEL ACT 8机由曝光头、晶圆处理器和步进级组成。曝光头充当光源，包含发射波长达248 nm的激光二极管。通过步进阶段，曝光头能够水平和垂直移动，允许精确的曝光控制。曝光头可以调整以支持多种曝光过程，包括单点或多点激光曝光和扫描曝光。晶片处理程序将晶片传送到步进级,并在曝光后将其收集。它还允许用户执行晶圆定向、基板交换和晶圆对齐。此外，该工具还支持多种基板，包括硅和玻璃芯片。该资产旨在提供高度的准确性、统一性和可重复性,以及处理各种材料的灵活性。使用该模型，可以采用多种曝光技术，包括动态曝光优化、多次曝光以及补偿球面像差。TOKYO ELECTRON ACT 8还附带了一套控制软件和硬件工具，帮助用户在电路模式中实现所需的质量和分辨率。它包括曝光模式分析软件和自动模式匹配功能，使用户能够调整光刻胶要求和曝光条件，以达到所需的模式精度和准确性。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT 8是一种强大的光阻设备，在半导体晶片上产生电路模式时具有很高的精度和均匀性。其专门的曝光和开发过程使电路模式具有高度精确和可重现的最小8纳米线宽。此外，它的一套控制软件和硬件工具使它易于使用和定制各种应用。