二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293821422 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8是专门为光刻应用而设计的光刻化学加工设备。该系统在临界特征控制方面具有较高的精度，在各种先进的光刻结构设计中具有显着的选择性。它提供了广泛的检查、工艺和成像能力，以确保最佳的光刻加工和先进的光刻设计结构。该单元包括带有真空卡盘的掩模对准器、多轨扫描仪、曝光单元和显影剂组件。新设计的掩模对准器纳米定位器可确保精确、一致的亚微米对准精度和± 3 nm的可重复性,从而实现高精度的薄膜接触和高通量。多轨扫描仪为扫描罗塞塔印刷和先进光刻技术提供了具有可调光束点大小和先进成像能力的高速扫描。曝光单元提供了高精度控制剂量的能力，以及针对不同基材和工艺要求的光源选择。开发组件提供化学处理时间和温度的自动控制，使机器达到最佳电路性能。该工具包括一个配方和过程历史的数字库，以确保操作员的效率和可重复性，同时也增加了数据的可追踪性。该库与所有支持的系统（Windows/Linux操作系统）兼容，可以与现有的软件和硬件库无缝集成。TEL ACT 8使用各种集成的模拟工具和分析,可帮助确保电路性能和结构符合精确的性能要求。总体而言，TOKYO ELECTRON ACT 8提供了业界最高的精确度、选择性和吞吐量，拥有最广泛的检查、工艺和成像能力，以确保先进光刻结构的最佳光刻加工和设计。资产能够以精确、准确和快速的速度处理基材和工艺要求,因此是光刻应用的理想选择。