二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9078027 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8是一种光刻设备，设计用于半导体制造中的清洁、高效和可靠的光刻工艺。该系统执行光刻胶带功能，用于在光刻曝光后从晶片表面去除光刻胶。该装置还提供在线表面污染监测仪以及平版心轴的表面清洁。TEL Clean Track ACT 8机利用先进的光电技术，提高了表面膜厚度的均匀性，提高了工艺速度，提高了晶圆表面的清洁度。它集成了450W Xe准分子激光扫描仪，为深孔蚀刻等湿蚀刻工艺提供高通量深紫外线（DUV）处理。该工具的设计使排便率更低，具有较高的带状效率和改进的过程稳定性。采用改进的化学喷射器对纳米结构抗蚀剂进行精确控制，提高了纳米级蚀刻工艺的级驱动精度。此外，该资产还配备了一种高分辨率显微镜，用于自动光刻胶分割和增强缺陷检测。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8型号设有低热发射源，以减少深蚀刻过程中晶圆温度偏移，以及改善群电极配置，以提高抗蚀刻的均匀性和表面膜厚度。它还有一个自动洁净室管理设备和监测系统，以确保提高安全性、可靠性和效率。Clean Track ACT 8单元的用户受益于较短的周期时间和更高的稳定性和可靠性,使其成为高效、准确的半导体制造工艺的理想选择。与市场上提供的其他解决方桉相比,它降低了运行成本并提高了吞吐量。此外，其易于使用的软件允许对光刻工艺进行自动化和一致的校准。