二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9106750 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种光致抗蚀剂设备，旨在提高暴露过程的清洁度，减少化学废弃物的数量。该系统由两个组件组成：CleanTrack蒙版对准器和自定义清洁解决方桉。Clean Track mask aligner是一个精确对准单元,它将具有UV敏感材料的mask精确放置在光掩码上。然后使用该掩模将光刻胶暴露在紫外线下。面罩上的材料是一种特殊的转移材料，能够以最少的浪费准确地重新定位。机器还包括一个自动真空工具，以确保面罩固定到位，并且曝光过程产生干净、准确和可重复的曝光结果。定制清洁解决方桉是专为与清洁轨道面罩对准器配合使用而设计的。这种专有的清洁溶液由水性和有机性两种成分以及表面活性剂和溶剂组成，以确保在暴露前后彻底清洗光掩模。这种无纤维溶液分解了光掩模上常见的聚合物，有助于防止曝光过程中图像模煳。Clean Track面罩对准器和定制清洁解决方桉的结合为清洁光刻胶和改善曝光过程提供了一种有效的方法,同时减少了与曝光过程相关的时间和浪费。Clean Track资产还设计为紧凑且易于使用,同时确保最高级别的清洁度。再者，该车型符合业界最严格的清洁安全标准。TEL Clean Track ACT 8通过提供光刻胶清洁和曝光过程的综合解决方桉,可帮助提高光刻工艺的产量并降低成本。