二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9145931 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种用于生产电子元件的光致抗蚀剂设备。该系统用于创建用于半导体工业的图样化晶片。它提供高分辨率的光刻成像与精确度和速度的无与伦比的组合。TEL Clean Track ACT 8使用获得专利的先进光刻胶,产生极小的结构,精确度无与伦比。这种光致抗蚀剂以薄而均匀的层涂在晶片上,然后暴露在紫外线下。紫外线照射激活了光致抗蚀剂内的化学成分,导致它们在被显影剂溶液冲走时变得不溶解。未暴露的区域仍然是可溶性的,开发人员将其移除,只留下图桉化的设计。该单元具有一个自给自足的处理平台,该平台包含一系列机械臂,为光刻应用提供了一个洁净的环境。这些机械臂提供精确的运动,使晶片能够精确定位和对齐。机器还配备了先进的成像工具,可以检测到可能对最终产品产生不利影响的无形缺陷,如杂散颗粒或其他污染物。资产能够执行各种过程步骤,包括预曝光、后成像和抛光。预曝光用于通过清洁烘烤制备晶片,后成像用于成像后检查图样设计,抛光用于清洁晶片表面的任何残留物。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8进行的高精度成像在产品可靠性和准确度方面产生了高产。模型的使用允许对生产过程进行严格控制,从而使高产部件的生产质量一致。此外,设备非常灵活,可以用于从研发到大批量生产的各种生产环境。它的灵活性使其成为想要保持高质量标准并最大限度地降低与制造相关成本的公司的绝佳选择。
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