二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9165439 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种高性能的光刻设备，能够对复杂的结构和选择性蚀刻过程进行精确的光刻。它旨在减少光刻过程中缺陷的发生，保证高屈服和无缺陷的表面。TEL Clean Track ACT 8利用扫描电子显微镜（SEM）利用抖动和高分辨率成像在晶片上创建超有限模式。该系统与各种光刻胶溶液兼容，包括标准的正负型，以及新的、更坚固的材料。增强的光致抗蚀剂分辨率与精确的光刻制造工艺相结合，形成了一种高度精确的产品。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8还包含了一些专门的功能，旨在确保高品质的产品具有极好的均匀性和最小的缺陷风险。这包括一个专门的加热晶片支架，它用先进的热分布单元均匀加热晶片。该机还包括三级真空脱气工艺，以去除光刻胶的气囊。此外,Clean Track ACT 8还配备了自动检查技术,用于扫描晶片的缺陷。此功能使用户能够快速识别任何可能有问题的区域,从而能够快速采取纠正措施。然后对任何无缺陷区域进行光学检查,以确保所需的准确性和质量。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8是一种强大的光刻工具，能够以最小的缺陷率对複杂设计进行精确的光刻。它配备了多种功能,使用户能够快速准确地识别任何潜在问题,同时确保高度的准确性和统一性。其结果是无缺陷的表面具有极好的一致性，使得一个高效和可靠的制造过程。