二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235479 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种光刻胶设备，设计用于半导体光掩模图样和处理应用。该系统是利用机械臂将光致抗蚀剂层精确沉积到基板表面的干膜光致蚀剂沉积装置。这台机器有两种配置：标准ACT 8和ACT 8-XHD。ACT8与更高分辨率的液滴发生器集成在一起，使0.4微米的分辨率更高。此外，该工具配备了四个同时沉积的分配头，能够每小时沉积至少200个晶圆。这项资产的设计采用了一种光管模型，用于确保每个基板的均匀暴露。光管将光刻胶暴露在强烈的紫外线和成像光下，形成超高分辨率的图样。该设备还利用再循环和过滤系统，以有效地分配具有较少废物产生的光刻胶溶液。ACT 8能够处理包括伽马敏感材料在内的多种底物，可用于广泛的应用。可用于对薄膜结构、触点、线密化等进行图样化。此外,该单元还能够在绑定垫上进行阵列设计、执行迭加过程以及对基板背面进行阵列设计。此外,该机还采用了INFINITY光刻胶管理软件.此软件用于监视相关参数,如解决方桉供应、图像对齐和分辨率,以及分配磁头状态。它还用于确保每个基板的正确曝光,并在工具中存在任何差异时提供警报消息。总体而言，TEL Clean Track ACT 8是一种高性能光刻胶资产，旨在满足半导体光掩模制图和处理应用的需求。该模型能够处理各种基材，可用于许多应用。此外，该设备还配备了INFINITY光刻胶管理软件，可实现该系统的精确高效运行。