二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235802 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款为半导体产业提供性价比和增强光刻平台的光刻设备。它使用组合扫描仪和Auto Mask Chuck （AMC）平台在一个平台中执行扫描到掩码的注册和曝光任务。该平台旨在降低运行成本，提高光刻胶系统性能，通过减少加工一个晶圆的时间来提高吞吐量。TEL Clean Track ACT 8使用创新技术来提高暴露过程的准确性和吞吐量。用于保护口罩的自动口罩卡盘（AMC）具有高稳定性的微突起功能,可确保口罩正确、准确地对齐。嵌入式扫描仪还结合了自动对焦和扫描速度，通过加速扫描操作来提高吞吐量。TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8以大容量锅组件为特色。它最多可容纳12个口罩或3张晶片，并被分成两个腔室。第一个腔室为暴露摄入口罩，第二个腔室减少非经常性分配偏差。它还通过在曝光操作和分配稀释之间快速交换腔室来提供卓越的性能，从而消除了吞吐量减少重新校准的需要。Clean Track ACT 8具有5兆瓦脉冲光源（PLS）.它提供了减少膜吸收的低背景源和高稳定性的集成设计等几个优点。此外，它还包括主动过程监测，以便在一段时间内保持恒定的光输出并确保准确的曝光。最后，利用创新技术开发了TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8装置，以提高光刻胶系统的吞吐量和成本效益。它包含了一个组合的扫描仪和自动蒙版卡盘，以及一个大容量的锅组件和一个5兆瓦的PLS用于蒙版曝光。这些特性使机器能够准确、快速地加工晶片，提高半导体工业中光刻胶工艺的成本和性能。