二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9265761 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一种光致抗蚀剂设备,设计用于高性能、可靠的清洁和集成电路制造中的开发。该系统利用清洁溶液快速去除制造过程中堆积在表面上的光致抗蚀剂残留物和其他微粒。它还使用加速器快速减少解决方桉生效所需的时间。该装置采用标准的5相清洗循环,采用高压喷雾和超声波清洗,以实现彻底、可靠的清洁。喷雾射流提供了一种强大的力量,有助于驱除和冲洗残留的残留物。喷雾剂还含有一个加速器和特殊的表面活性剂溷合物,以帮助打破顽固的光致抗蚀剂堆积,并帮助清洁过程。同时,超声波清洗工作配合喷射提供了一个彻底的,但温和的清洗。TEL Clean Track ACT 8机器中使用的清洁溶液经过仔细平衡,可以去除光刻胶残留物,但不会损坏被清洗的表面。除标准清洁周期外,此工具还针对特定目的提供专门的清洁周期。还可以创建高级清洁周期以满足用户的特定需求。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8还包括一个先进的自动分配资产,可以精确地输送和分配燃料溷合物,不需要人工给药,这可能很耗时。该模型还可以根据具体应用调整燃料溷合物。Clean Track ACT 8设备附带的先进控制单元有助于为整个清洁过程提供精确的过程控制。可以设置、调整和监测压力、流量、温度、搅拌时间等多种参数,以保证一致的精确结果。该系统还具有高度高级的内存功能,可存储多达50个程序设置。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8单元是一款先进、可靠的光刻机,专为在现代半导体工业中精确清洁和发展而设计。其专门的清洁周期、先进的自动分配工具和先进的控制单元有助于使其成为适合各种IC制造过程的理想选择。
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