二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269229 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款设计用于半导体加工的最先进的光刻设备。该系统采用先进的表面清洁技术，能够在底物暴露于光致抗蚀剂之前清除其多余的灰尘和颗粒。这减少了污染和缺陷形成的机会，从而导致性能低下或产品失效。TEL Clean Track ACT 8利用先进的光学状态剖面仪（Optical State Profiler，简称OSP），可以检测基板顶部表面的亚微米大小的颗粒。一旦检测到，OSP会自动调整表面清洁参数，以确保颗粒的最佳去除，然后可以使用缺陷密度成像（DDI）确认。这种先进的技术提供了一个很大的精确度和精确度，当涉及到实现清洁基板进一步处理。TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8还有一个同步涂层单元，允许在整个基板上均匀涂层。该机采用精密晶片级定位工具，在涂层过程中提供一致的基板接触，确保光敏沉积的最佳均匀性。此外，该资产还利用一种新型的自动聚焦模块，在检查过程中最大限度地提高对准精度和光学图像采集精度。该模块不仅提高了图像质量，而且提高了评估晶片缺陷的精度。Clean Track ACT 8还包括一个集成的暴露状况数据库（ECDB）,它允许根据每项工作的具体要求进行更大程度的定制。这种ECDB有助于确保每种基板的曝光条件得到优化，进一步提高光刻胶层的整体质量。归根结底，TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track ACT 8是一款精密的光刻胶模型，具有许多高级功能，旨在提供卓越的性能。该系统采用先进的表面清洁技术、精密晶片分级、创新的自动聚焦设备和集成的曝光状况数据库,非常适合各种半导体加工应用。