二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269230 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一款高性能的光刻胶设备，为精确高效的图样设计。该系统采用高性能光敏材料，这是一种特殊类型的光敏材料，当暴露在光线下时，会产生非常精细的图桉。光致抗蚀剂安装在一个专门的机器人晶片处理单元，它可以移动晶片的精度和可重复性。该机器采用高端光学器件，包括高质量的线性偏振激光器，使光刻胶能够精确曝光。激光曝光工具是对齐的，以确保产生精确的图样。这种精确度使资产达到了极致的效率。利用该模型的机器人晶片处理设备，制备并将其应用于压模晶片。机器人的精确运动能够快速定位每个晶片，确保生成所需的图桉和/或几何形状。然后，机器人晶片处理系统将晶片传送到曝光单元，这会使光刻胶暴露在激光的光下。曝光会使光致抗蚀剂以所需图桉的形状变硬。曝光完成后，晶片被移动到开发机器上，该机器使用热水或化学物质溶解未曝光的光刻胶并揭示最终的图桉或几何形状。这最后一步产生了一个高度定义、精确的晶圆模式，随时可以进一步处理。TEL Clean Track ACT 8工具具有高精度的微精度对齐资产。它会自动调整曝光模型的对齐方式,从而无需耗时的手动设置。这样可以实现超精确和可重复的阵列。该设备包含了一系列附加功能，包括用于高效和精确晶圆处理的高精度晶圆对准系统、确保精确曝光的自动对焦控制以及提供实时错误检测和数据记录的单元监视器。总的来说，TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8机器提供了一种快速、精确、高效的光致抗蚀剂工具，可以产生高精度的图桉。该资产非常适合高精度、面向精度的工艺流程。