二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269251 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种光刻设备，结合了高精度的控制和测量以及对广泛化学物质的可靠电阻。它使用户能够以精确、准确的方式高效生产工艺关键型薄膜层,而无需进一步清洗。TEL Clean Track ACT 8系统围绕两轴图像捕获光学微米设计。这样就可以对分辨率高达8微米的玻璃滑动基板进行XY坐标定位,从而能够对薄膜、设备级应用进行精确的光刻过程。该单元还配备了防反射涂层，以减少基板表面光反射造成的误差。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8机器中使用的光刻胶使用了独特的化学和机械过程组合。这包括溶液的直接分配、均匀的抗蚀层覆盖以及旋转力的最佳传递，以有效地控制旋转力。所有这些过程在本质上是相互关联的，以便创建一个高效和可靠的光致抗蚀剂工具。资产还采用一种独特的清洁模式，用于清洁基板，并按照光致抗蚀剂工艺进行抵抗。这种清洁设备使用酒精和声波清洗搅拌器，以保证照片曝光后的最高清洁水平。酒精清洗系统是专门为减少对基板的污染和抵抗而设计的。为进一步确保结果的准确性，Clean Track ACT 8单元还提供了纺纱过程中每个抗蚀层的自动"质量检查"。这有助于确保每一层都干净并符合所需的标准。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8机的独特能力，使使用者能够製作高级别的工艺临界薄膜层，精确度和精确度。该工具还提供了对各种化学品的可靠抗药性，确保结果始终是一致和可靠的清洁。