二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9269257 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种设计用于处理先进材料的光刻设备。它旨在最大限度地提高洁净室的工作效率和性能。该单元配备了多种功能，使其能够以最高精度运行。Clean Track系统使用倒置的盒式磁带单元,可确保各种基板的均匀性和一致性。该机设计为允许多个基板同时处理，产生优异的吞吐量。盒式磁带包含一个双面基板支架，在加工过程中允许极低的损伤和均匀性。该工具还通过动态液滴分散资产实现可靠的基板表面清洁。该模型采用独特的空气净化溶液将所有颗粒从加工区域中去除，从而产生最大的颗粒保留。设备具有晶圆尺寸选择选项,允许生产线定制。它还提供了一个自动基板索引系统，使晶片和基板的处理和处理变得容易。该装置采用二维成像技术，确保配准的均匀性和准确性。光刻机还配备了四级光学对准工具，可以精确对准曝光光学器件。该资产支持高达10毫秒的曝光时间,分辨率为10 µm。该机组还配备了基板温度控制模型，确保基板温度均匀，抗蚀剂固化。该设备与许多光敏材料兼容，包括阳性和负性抗蚀剂。它被设计为能够承受广泛的环境条件，允许长时间使用。该机组还配备了高性能发电机，保证了曝光的最高质量。清洁轨道系统旨在提供高产量和精确控制,并改进清洁过程。它的高级设计确保了即使是最复杂的处理任务的最大精度和可靠性。是加工最先进材料的理想单位。