二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9280915 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一种光阻设备,一种光阻设备,用于半导体和集成电路(IC)的制造。光致抗蚀剂是对光敏感的材料,用于IC生产的光刻工艺。TEL Clean Track ACT 8系统旨在为用户提供准确、可靠和精确的光刻结果,同时满足其环境、安全和成本要求。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一个先进的光刻单元,由连接到中央控制台的各种设备组成,以进行高效操作。它包括一个小型、紧凑的曝光设备,用于控制曝光量、照明曝光时间和距离等曝光参数。清洁装置由刷子和旋转烘干机组成,为光刻胶提供清洁的环境。此外,该机器还包括一个自动清洁电池,用于光刻胶和底物在曝光之前。自动曝光阶段用于在曝光前对齐基板,工具配有风扇,在操作过程中帮助保持基板冷却。Clean Track ACT 8资产的主要特点是纳米控制技术。利用纳米光束对准模型,可以精确控制和调整曝光参数,以满足应用要求。这使得实现高度精确的曝光参数并确保光刻胶在基板上的精确放置成为可能。此外,它还确保在调整曝光参数的同时保持曝光力和抗蚀分布,以确保正确的光刻。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8在成本和能源效率方面也提供了几个优点。该设备功耗低、运行成本低,为光刻应用提供了高效、经济高效的选择。此外,由于该系统的自动清洗单元,其污染风险较低,减少了手动清洗操作的需要。总体而言,TEL Clean Track ACT 8是一种先进的光刻装置,可提供可靠和准确的光刻结果,同时还提供成本和能源效率。其纳米控制技术、自动清洗电池和低功耗使其成为IC生产和其他光刻应用的绝佳选择。
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