二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282574 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一种光致抗蚀剂设备，旨在为先进的微电子器件阵列提供可靠有效的工艺。它允许用户将光刻胶图样干净地转移到几乎任何形状或大小的基板上，包括难以绘制图样的凹陷或凸起的设备区域。该系统由几个组件组成，包括一个精密的光掩模对准器、一个步进/扫描仪和一个电子束涂层/显影器。精密的光掩模对齐器有利于光掩模与基板的精确对齐，确保图样的有效传递。此外,还可以设置光掩模对齐器以激活将快速打开和关闭的对齐快门,以便精确对齐。步进/扫描仪允许自动将光刻胶图样暴露在基板上。它包含符合人体工程学设计的晶圆处理和基板扫描组件，并为透明和不透明的基板提供光学成像能力。该单元的最后一个组成部分是电子束涂层/显影剂，用于在基板上施加和发展光敏涂层。该组件设计为均匀可靠地应用光刻胶。它的电子束非常精确，可以使用清晰、清晰的边缘进行精确的阵列。此外,其光致抗蚀剂开发过程快速高效.TEL Clean Track ACT 8为设计现代电子设备提供了性能和可靠性的最佳组合。其组件确保精确的对准、准确的曝光以及均匀可靠的光刻胶应用和开发。因此，该机可用于设计要求高精度和可靠性的微电子器件。