二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9282575 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一种光致抗蚀剂设备，能够以最小的残留物进行清洁和精确的处理。它是一种高效、精确的技术，利用远心光学和智能自动化实现更高水平的准确性和吞吐量。系统由四个主要组成部分组成；舞台、标线、光刻单元和光刻站。舞台是水平对准机，有移动的舞台和固定的标线。移动级是一个可靠耐用的机动化级，支撑着广泛的基板。固定标线为基板的精确对准和放置提供了精确的参考。光刻工具由远心光学和扫描控制资产组成。远心光学器件提供了深度聚焦，并确保了基板的均匀照明，允许更精确的曝光。扫描控制模型可确保按照指定的方式进行曝光,从而提高吞吐量。光刻站装有自旋加工头，消除了过程中的交叉污染。它支持多种类型的自旋光刻胶，包括正、负和中性型。为优化工艺控制提供了精确的自旋涂层和稳定的抗蚀性。最后,TEL Clean Track ACT 8设备配有自动端点系统,可监控和控制曝光过程,从而提高吞吐量和准确性。端点单元为用户提供了对曝光配置文件的完全控制,确保了统一的覆盖范围和分辨率。总之，TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8机器是一种可靠、高效和精确的光致抗蚀剂工具，适用于业余爱好者、原型专家和专业人士。该资产的远心光学、扫描控制模型、基板级和抵抗站相结合，提供了高水平的精度和生产率。自动端点设备可确保按照规定完成曝光过程,从而实现更均匀的涂层和更高的分辨率。