二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9300430 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是为高品质光刻工艺而设计的最先进的光刻设备。该系统在一个自动化模块内促进各种加工步骤，包括纺纱、烘烤和开发。它是专为在高精度光刻过程中提供最佳控制和高产率而设计的。TEL Clean Track ACT 8配备了高精度运动控制器和运动视觉单元（MViS）。这样可以确保晶片级的精确和高度可重现的定位,即使在长时间运行时也是如此。此外,该机器采用了各种先进技术,包括高速粗移动控制器、快速线性编码器和闭环轴驱动器（CLAD）。这种特性的组合确保了光滑、可靠、精确的运动控制，以及晶圆级的精确定位。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8提供优越的基板清洁能力；设有可滑动梯形刀片清洁站。该站使用磨料叶片从基板表面轻轻去除颗粒，减少边缘效应。它还配备了颗粒和污染监测工具，以持续有效地控制过程。该监测设备利用现场电离和排气系统，以确保优越的基板清洁。除了运动控制和清洁功能外,Clean Track ACT 8还提供多种成像和图样选择。它配备了用于大基板快速成像的单进给和双进给头扫描仪，还包括多种模式化方法，如曝光激光扫描（ELS）、接触PR拷贝（PRC），以及用于定义精确图像模式的内置离轴自动对准。TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track ACT 8是一种综合性的光刻胶模型，其设计目的是提供高品质、可重现的光刻结果。它提供出色的运动控制、基板清洁和成像功能，允许用户实现精确和精确的光刻工艺。其先进的技术特点和种类繁多的图桉选择使其成为高精度工艺的绝佳选择，确保了优越的产量和工艺控制。