二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9361997 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT 8是一种光刻胶设备，设计用于光刻胶材料的纤薄、精密、高度均匀的薄膜。该系统由几个外部部件组成，包括一个光源、光学单元和真空传递机。光源是量身定制的氙气短弧灯，产生包括紫外线（UV）范围在内的广谱光。然后，通过一个定制的光学工具收集和聚焦从灯产生的光，该工具引导波长光谱与所使用的光敏材料相匹配。光学资产还控制着光束的聚焦、发散和均匀性。光致抗蚀剂材料存储在真空烧瓶或储罐中，并通过定制的转移模型暴露在光束下。该设备由快门、冷凝透镜和真空传递室组成。快门用于控制光刻胶材料暴露于光线的时间。冷凝透镜将光集中到基板上，而真空传递室确保均匀曝光。该系统还包括一个综合测量单元，用于监测和控制光敏材料的性质。这台测量机连接到一台计算机工具上，该工具具有评估基材和光敏材料特性的专门软件。这种资产允许高度的控制和准确性。TEL Clean Track ACT 8是一款高度先进的光刻胶模型，设计用于生产纤薄、精确、高度均匀的光刻胶薄膜。通过其定制的光源、光学、传输设备的组合，系统提供了出色的均匀性和准确性，同时保持易于使用和维护。