二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293641947 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT Lithius是一种光抗蚀剂设备，结合物理和化学处理，在半导体和其他微电子表面上创建精细的图样。该系统用于在晶片和基板上创建高精度和可重复性的精细特征。该单元由五个主要组件组成：光源、图样发生器、涂层/显影剂、分析仪和真空室。光源发出具有特定波长和图样的高强度光，激活基板上的光致抗蚀剂。模式发生器通过一系列光束创建精确的模式，然后通过光源。涂层/显影剂然后用光致抗蚀剂涂覆基板，然后将其暴露在图桉化的光下。然后化学开发光致抗蚀剂，产生蚀刻在基板表面的图样。最后,该分析仪有效地测量了成型模式的精度.这是通过从真空室中有图样的基板上收集数据来完成的，从而使分析仪能够检测到基板和所需图样之间的任何差异。分析仪还允许操作员对模式发生器和/或光源进行调整，以达到所需的模式精度。此外，该机还配备了直列式红外显微镜和气体输送工具，可精确控制显影和蚀刻速率。这是通过控制气体的温度和浓度来调节它们的反应性来完成的。最终的结果是一个令人难以置信的精确图样基板，这是在时间的一小部分，传统的光刻创造。这使得TEL Clean Track ACT Lithius资产成为各种微电子应用的可靠且经济高效的解决方桉。