二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293649381 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK ACT Lithius是一款为半导体器件制造而设计的光刻设备。它是一种先进、高性能的工具，用于均匀、精确地去除光致抗蚀剂残留物。它使用自动跟踪系统，以确保一致的性能和尽量减少生产中的颗粒污染。TEL Clean Track ACT Lithius利用多种不同的技术从半导体器件中除去光刻胶。首先，用一系列化学溶液溶解材料。之后，异丙醇冲洗有助于确保材料完全消失。然后，用高能等离子体完全蚀刻装置表面。最后，用高温、低压气体擦洗表面，全面清除残留的任何光阻痕迹。该装置包括控制器、晶片处理机、化学品输送、洗涤站和激光蚀刻站。该机器的主要目的是通过提供更精确的晶片处理来尽量减少颗粒污染。晶片处理程序允许工具在整个晶片表面上提供精确而均匀的光刻清洁性能。它还包括一个综合视觉资产，用于识别在加工过程中可能污染晶圆的任何颗粒。化学品的输送提供了对化学反应物的精确和精确的控制，并提供了一个节省时间和成本的试剂管理模型，以及一个化学自动化设备，以确保废物最少。等离子体蚀刻站采用高频等离子体技术，设计用于快速高效地去除表面的光敏残留物。最后，洗涤站使用低压气流冲洗掉剩余的残留物，得到一个完美清洁的晶圆。TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius是一种高度先进、有效且可靠的半导体器件製造工具。它旨在减少颗粒污染，提供卓越的性能。它能够快速高效地进行精确的清洁,确保设备的制造质量始终如一。