二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro V-i #9397199 待售
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已售出
ID: 9397199
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Coater / Developer system, 12"
Lithius Pro-V Immersion
(4) Loadports
(2) Grippers
RRC2 (Cyclohex addition)
O-ring fork on IRAH
ISHU bracket removal
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
BST2
Chamber position / Description
Unit position-1 / Rinse
Unit position-2 / Developer
Unit position-3 / Rinse
Unit position-4 / Solvent
Unit position-5 / Solvent
Unit position-6 / Vapor prime
Unit position-7 / -
Unit position-8 / -
Unit position-9 / -
Unit position-10 / -
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro V-i是一款市售光刻胶设备,设计用于在半导体器件的生产中提供高光刻胶处理质量。该系统设计用于生产高容量、高质量的光致抗蚀剂,即使在困难的应用中也是如此。该装置采用了最先进的光刻加工技术,并配备了能够分辨出30海里以下特性的高精度光学机器。该工具旨在确保光刻提升过程中的质量和均匀性。光致抗蚀剂资产利用具有高温、高可靠性和高附着力的电阻基板来确保结果一致,即使在高温下也是如此。该模型还包括一个先进的安全设备,用于监测腔室的清洁度和工艺参数。集成的Pro V-i安全系统利用一套全面的传感器来监控温度、压力和其他操作参数,并可以保护光敏装置免受任何损坏。TEL Clean Track Lithius Pro V-i机器可用于各种不同的生产过程,包括光刻、环氧化和自旋沉积。它与一系列常规的光敏材料兼容,可以根据所需的应用来实现多种不同的结果。通过采用控制和精度方面的最新进展,例如允许直接传输电阻过程中产生的数据,该工具还能够更轻松地处理具有挑战性的生产过程。这使用户能够优化其流程,并实现更快的生产和响应时间。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro V-i是一种极可靠有效的光刻胶资产,能够产生高体积和高质量的结果。该模型是许多生产工艺的可靠且具有成本效益的解决方桉,可以应用于许多不同的领域,以确保质量光刻胶的生产一致。
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