二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z #293802347 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro Z是用于制造先进半导体器件的下一代光刻设备。该系统采用先进技术，提供快速、精确、可靠的光敏沉积。TEL Clean Track Lithius Pro Z通过其自动跟踪光刻工艺提供质量一致性,并在整个晶圆表面实现高达0.3-μ m的厚度偏差。该装置还具有一个高精度级，用于在沉积过程中将多个晶片放入腔室时对基板进行精确对准。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro Z在10-11 torr的超高真空（UHV）环境下运行，保持高品质的工作氛围。该机利用超短波长（266 nm）的深紫外光（DUV）在半导体晶片上形成光刻图样。这种短波长可以使分辨率降低到0.3 μ m。DUV光由一个自上而下的扫描激光工具提供，用于在整个晶圆表面上均匀阵列。激光图样曝光通过静电卡盘技术得到进一步改善，提供了从晶圆中心到边缘的图样均匀性。光刻胶显影剂具有0.8%或以下的超低NF浓度，以确保曝光图样完全溶解，产生高品质、均匀的光刻胶图样。开发者也是一个环保的解决方桉，绿色CDP认证，符合SEMI S2标准。Clean Track Lithius Pro Z还提供了高级选项,例如溷合分子层沉积、多层沉积和具有不同厚度的抗性阵列。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro Z设计具有高占位周期，在连续处理几批时提供高通量和低停机时间。总体而言,TEL Clean Track Lithius Pro Z是一种先进而高效的光刻胶资产,为在先进半导体器件上制造提供了卓越的精度和效率。该模型非常适合生产各种半导体器件。