二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro #293802324 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro是一款先进的光刻设备,用于制造具有较小几何形状的高性能集成电路(IC)。它具有高分辨率激光光学投影系统和临界掩模形成专用软件。光致抗蚀剂单元的设计是为了快速准确地产生半导体图样。它的工作原理是将遮罩设计投射到涂有光刻化学物质的IC遮罩上。光源会激发光刻剂化学物质,使其在暴露于光线的区域变硬。未暴露的区域保持液态,允许显影剂冲走这些区域以创建精确的特征。该机可以轻松产生小至24nm的特性,特别适合先进的IC制造。该工具还提供高级模式形成功能。光学对准和迭加系统将图像从多个数据集精确地缝合在一起,从而在要求最苛刻的应用中产生完美的边缘。基于偏振的成像可以用来改善对比度,减少相机镜头的失焦曝光。该资产还具有焦点控制和高级图像处理功能,允许以最高精度对图像进行锐化和处理。TEL Clean Track Lithius Pro是用于口罩生产和IC制造的强大工具。其精密的系统使快速的半导体图桉能够形成具有锋利的边缘和优越的图像清晰度。模型的灵活性和高级特性使其成为创建具有较小几何形状的高性能IC的首选。
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