二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro #293802326 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius Pro光刻设备是为光刻工艺设计的高端、先进系统。光刻被用于以极精确的精确度创建非常细小和错综复杂的图样，而这个单元使得这个过程在市场上具有一些最高水平的精确度和可靠性。Lithius Pro利用光致抗蚀剂技术来捕获和跟踪机器中放置的阵列。光刻胶由一种光敏材料组成，当暴露在光线下时会发生变化。光线将被塑造成光刻所需的图桉，这将被捕获在光刻胶内。在该过程中，图样将被暴露在基板上，并且在该过程结束时，光致抗蚀剂可以被移除以显示图样。Lithius Pro的主要特点是其高精度的光学元件,允许在图样暴露在基板上时捕获其精确定位。使用的高精度传感器将图样转换为具有+/-0.15微米精度的数字坐标。此外，高分辨率图像捕捉利用高灵敏度CCD相机，其光源提供明亮和均匀的照明，提供一致和准确的曝光精度。当然，这款工具的主要优势在于其先进的清洁轨道资产。Clean Track模型旨在防止颗粒在光刻剂上形成并污染图样,这是通过真空环境实现的,真空环境将空气吸入,捕获颗粒并保护光刻过程。总体而言,TEL Clean Track Lithius Pro光刻设备为用户提供了精确可靠的光刻工艺、高精度的光学元件、精确的传感器和清洁的轨道系统,以预防粒子。该单元旨在提供高效、准确的光刻工艺，能够产生一致的结果。