二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9195123 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius是一种光致抗蚀剂设备，用于管理各种图像在基板上的曝光。该系统用于微电子、平板显示器、光电器件和半导体制造工艺中的精细图桉和光刻应用。TEL Clean Track Lithius单元包括三个部分：光刻胶分配单元、图像曝光部分和干膜传输部分。光刻胶最初被分配到光刻胶分配单元的基板上，该单元被整合到机器中。该单元由于其控制良好的压力和速度，提供光刻胶的均匀分配，以确保后续操作的良好起点。工具的第二部分是图像曝光部分，然后执行将所需图像曝光到光刻机上的过程。本节配有UV-LED光源，提供极小需要校准的高度稳定的UV输出。这样可以确保需要曝光的图像的所有部分都暴露在均匀的紫外线强度下,从而形成精确且可重复的阵列处理过程。最后，资产的第三部分是干膜转移部分。本节使用精确的干膜转移机器人，产生极薄的感光膜层，可以转移到基板上。本节中的机器人能够将干燥膜精确定位到基板上，同时将污染或涂抹的风险降至最低。总之，TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一种用于精密图样和光刻应用的有效光刻模型。它能够提供精确和可重复的光刻胶的均匀分配、均匀的图像曝光和干燥的胶片传递。这些特性使得它非常适合在微电子、平板显示器、光电器件和半导体制造过程中使用。