二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9203697 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款先进的光刻工艺设备，旨在达到微小型/纳米器件制造的最高水平。它具有较高的吞吐量和较低的缺陷率,是一种经济高效的解决方桉,适用于从基本性能到高级性能的应用程序。系统使用激光在晶圆上创建高分辨率图样。它的直接脉冲成像方法支持多种光刻方桉，包括ArF（氟化氙）浸泡、KrF（氟化krypton）干燥和溷合模式。光束能量可根据不同的应用要求进行调整，产生的脉冲重复率高，精密覆盖和精细特征曝光的超高精度脉冲。还支持各种有用的曝光后工艺，如烘烤、开发、剥离、固化和离子束铣削。TEL Clean Track Lithius是为尽量减少污染和最大限度地提高工艺效率而设计的。单位的空气清洁机有助于清除污染和其他漂浮颗粒的暴露。一个专利的主动降噪模块降低了背景压力噪声，该工具配备了详细的微网滤波器、三重过滤和紫外线灭菌功能。该装置使用部分受监管的化学品供应锁定资产，以限制化学污渍或颗粒污染的风险。该模型还具有内置智能鼓风机，能够调制腔室内的压力。TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius的用户界面简单直观。通用软件环境可用于多种平台型号,并且全天24小时提供高级技术支持服务。Clean Track Lithius速度快、准确、可靠。它设计紧凑,零件少,维护成本低,适用于小型和大型生产环境。该装置经过了严格的测试，取得了多种认证，包括ISO 9001：2015、ISO 14001：2015、EPA合格。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款功能强大、性价比高的光刻工艺设备,可帮助您满足当今微/纳米设备制造的复杂需求。