二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9206373 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius是一款光刻设备,旨在提供超清洁的效果,并提高吞吐量和节省成本。该系统采用高精度激光器，快速、精确地将给定光刻胶图样的正向或负向区域彼此分离。TEL Clean Track Lithius有一个可调节的光学基座块，可以分别修改曝光条件和激光特性，允许高度精确的图桉。该装置还采用模块化设计，以提高设置灵活性，方便地装载和卸载大型基板。该机能够产生最小线宽和间距分别为1.4和2微米的图样，并具有能够分辨出0.5微米特征的精细聚焦光束。该设备由图形用户界面（GUI）软件方便地控制,便于操作员使用和实时调整。精确的激光射程间距进一步提高了图样的重复性和可靠性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius被设计成以稳定的方式运行，确保生产所需的模式数量和质量。Clean Track Lithius使用专门的干洗设备,即使在大批量生产环境中也能高效清洁基板和抵抗。该工具采用三级过滤结构，以更好地控制颗粒，从而提高污染水平，降低清洁相关的成本和停机时间。实施主动污染检测，以便根据需要不断调整资产。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius集成了实时扫描电子显微镜，传输高分辨率图像，用于快速缺陷分析和分辨率。这种集成检测模型消除了从生产线上取样的需要，减少了时间和成本。设备还利用软件系统根据预定值自动调整焦点和射击位置等级别和特征，从而实现更高的精度。总体而言,TEL Clean Track Lithius是一款先进的光刻装置,旨在提供超清洁效果,并提高吞吐量和成本节约。该机器具有精确的激光器、自动特性调整、高分辨率成像和主动污染检测功能,是需要高质量和可重复性的生产环境的理想解决方桉。