二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9213599 待售
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ID: 9213599
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
(3) Coater / (2) Developer system, 12"
Single block
Main controller
Hard Disk Drive (HDD)
(2) Robots: 1-0 CRA and 2-0 PRA
Power box
Chemical box
Temperature and Humidity (T&H)
TCU
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Lithius是一种光刻胶设备，用于在半导体晶圆上对电路进行图样化。该系统采用无掩码激光光刻技术书写光刻胶图样，然后可以转移到半导体晶片上。该过程涉及将两种或两种以上的光致抗蚀剂应用于晶片表面。第一种光致抗蚀剂用于沉积点或线的图样以形成电路元素，而第二种光致抗蚀剂则在图样化的线的顶部形成连续的线。这样可以更精确地控制电路的精细细节。TEL Clean Track Lithius单元使用激光束在晶圆上的光刻剂上刻出高分辨率的图桉。图样的深度对于不同的电路设计是可调的。然后，光致抗蚀剂充当半导体基板蚀刻的掩模，其中使用蚀刻溶液在晶圆上创建精确的图样。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Lithius machine is a reliable solution for producing complex and high resolution pattements on the waf该工具适用于多种材料，可用于各种抗蚀剂设计过程。它提供了干净和一致的结果,具有卓越的精确度.该资产还具有高速激光扫描和制图能力，生产效率很高。该模型的设计便于操作、维护和维修。这种光敏设备与沉积、氧化、扩散和蚀刻等所有主要半导体制造工艺兼容。其广泛的应用使得它非常适合包括半导体、电子设备和汽车制造在内的多个行业。该系统易于处理复杂的图样，在多层光掩模生产中特别有用。总之，CleanTrackLithius是一种先进的光阻装置，可以处理广泛的应用。它具有很高的可靠性和高效率，具有卓越的精度和高速激光扫描能力。该机操作和维护方便，与所有主要半导体制造工艺兼容。这使得它成为在晶圆上生产复杂模式的多个行业的理想解决方桉。
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